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低漏率真空用高速微型電動球閥（電控球閥）
Miniature Electric Ball Valve (Electric Control Ball Valve)

一、簡介

LCV-DS系列微型電動球閥是一款小型電動閥門，其執(zhí)行器和閥體的一體化設(shè)計，減小了外形體積，價格低廉，常安裝在密封容器和真空泵之間用于調(diào)節(jié)排氣速率。

數(shù)控球閥在真空壓力下游模式控制中的應(yīng)用

二、特點

（1）可用于真空設(shè)備，漏率<5×10^-11Pa.m³/s

（2）采用銅加不銹鋼齒輪設(shè)計，精度高輸出力矩大。
（3）外型小巧，結(jié)構(gòu)緊湊，安裝簡易，適用于小型設(shè)備。
（4）運行電流低，可以使用電池供電。
（5）密封性能良好，防護等級IP67。
（6）壽命長達(dá)7萬次到10萬次。

三、技術(shù)指標(biāo)

四、接線說明：

（1）紅線：接DC9~24V正極。
（2）黑線：電壓公共端。接電源電壓、控制輸入信號（0~10V）和位置反饋輸出信號（PWM OC）的負(fù)極。
（3）黃線：錯誤輸出信號（當(dāng)有錯誤時開關(guān)閉合，沒有錯誤時開關(guān)斷開）。當(dāng)電機工作電流過大時，比如當(dāng)閥門有雜物檔住球轉(zhuǎn)不動時等，輸出錯誤信號。
（4）綠線： 控制信號輸入端（4 ~ 20mA / 0-5V / 0-10V ）正極。
（5）白線：位置OC反饋PWM信號輸出端，100Hz，5%-95%， 表示0-90度。

五、應(yīng)用

（1）上海依陽LCV-DS系列電動調(diào)節(jié)閥使用說明書

（2）微納衛(wèi)星電熱等離子體微推進器羽流特性測試中的低氣壓精確控制方法

（3）探空儀檢定用低壓環(huán)境模擬艙壓力控制系統(tǒng)的升級改造

（4）瑞利-布里淵散射光譜測量中溫度和壓力的精確控制方法

（5）階梯光柵光譜儀中壓力的精密控制技術(shù)及其實施方案

（6）數(shù)控閥門在MOCVD工藝真空壓力精密控制中的應(yīng)用

（7）微波真空干燥（MVD）過程中真空度、溫度和轉(zhuǎn)速的精密控制

（8）真空脈沖鹵制工藝中的真空度和溫度快速和精密控制技術(shù)

（9）月壤環(huán)境地面模擬試驗裝置中的真空度精密控制技術(shù)方案

（10）蒸發(fā)濃縮工藝中降低溶劑損耗的真空度精密控制解決方案

（11）低壓滲碳工藝中的真空度精密控制解決方案

（12）低壓緩沖罐的真空度精密控制解決方案

（13）低壓與高壓（負(fù)壓與正壓）之間的真空壓力連續(xù)控制解決方案

（14）溫敏材料干燥過程中的溫度和真空度精密控制解決方案

（15）PVT法碳化硅SIC晶體生長工藝高精度壓力控制解決方案及其配套裝置的國產(chǎn)化替代

（16）微激光束焊接中真空控制系統(tǒng)的壓力調(diào)節(jié)解決方案

（17）真空精密控制應(yīng)用：在真空烘箱中干燥細(xì)粉的秘訣

（18）防熱材料熱性能測試和炭化過程中的氧分壓精密控制解決方案

（19）低溫烹飪裝置中高精度壓力和溫度控制的解決方案

（20）雙層玻璃反應(yīng)釜真空壓力（正負(fù)壓）準(zhǔn)確控制解決方案

（21）真空解凍過程中高精度真空度控制的解決方案

（22）啤酒發(fā)酵罐內(nèi)部壓力可編程全自動精密控制裝置

（23）如何在食品油炸過程中實現(xiàn)真空壓力的準(zhǔn)確控制

（24）單晶生長過程中的0.1%超高精度真空壓力控制解決方案

（25）可編程真空壓力PID控制技術(shù)在脫氣和固化工藝中的應(yīng)用

（26）硅片氧化擴散退火設(shè)備中的真空壓力精密控制解決方案

（27）包含高真空、低真空和正壓的綜合計量試驗系統(tǒng)高精度控制解決方案

（28）精密低氣壓控制技術(shù)在石英燈和石墨加熱器結(jié)構(gòu)熱試驗裝置中的應(yīng)用

（29）同步輻射光源和原位透射電鏡防止氮化硅薄膜窗口破裂的真空度控制策略

（30）真空度和氣氛環(huán)境控制技術(shù)在LK-99超導(dǎo)材料燒結(jié)制備中的應(yīng)用

（31）碳化硅高溫氧化過程中的真空度和氧分壓控制解決方案

（32）混合氣體模擬放電裝置中的真空壓力控制解決方案

（33）真空壓力控制技術(shù)中關(guān)鍵部件的國產(chǎn)化替代現(xiàn)狀

（34）低溫深冷表面結(jié)霜可視化實驗裝置的精密氣壓控制解決方案

（35）低氣壓環(huán)境材料沿面閃絡(luò)特性測試中的真空度精密控制解決方案

（36）高溫石英管加熱爐真空控制系統(tǒng)技術(shù)升級改造解決方案

（37）模擬高空低氣壓試驗箱中的高精度真空壓力可編程控制解決方案